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氧化物类TFT技术的进步可实现有机EL实现全高清视频和可弯曲性
作者:huishi    发布于:2013/8/6 8:45:05    文字:【】【】【

 可弯曲的4K×2K有机EL反射型虽然率先实现了实用化,但在亮度、对比度和响应速度等方面存在课题,显示性能受限。要想支持彩色视频,弯曲有机EL显示器,并在2013年5月的学会(SID 2013)的会场进行了视频影像显示。试制品的制造品质非常高,画面几乎看不到缺陷,可适用到以后航拍监视器画面,很有可能需要自发光型有机EL。随着工艺温度比硅类低的氧化物类TFT技术的进步,采用有机EL的柔性显示器的开发日益活跃。实现4K×2K等高精细化的试制品也已经面世。 开发4K×2K高精细柔性有机EL显示器的是半导体能源研究所(SEL)与夏普和Advanced Film Device Inc(AFD Inc.)组成的研究小组。该研究小组试制出了13.5英寸的3840×2160像素有机EL显示器。分辨率为326ppi。背板采用具备结晶性的氧化物半导体“CAAC-IGZO”东芝通过在聚酰亚胺基板上直接形成TFT和有机EL层,省去了从玻璃基板向塑料基板转贴的工序。估计省去该工序有助于降低制造成本。该公司在玻璃基板的支持基板上涂布聚酰亚胺,在其上形成TFT和有机EL层。然后剥离支持基板。也有在支持基板上粘贴一定厚度的塑料板的方法,不过此次的方法易于减轻热收缩的影响,还适合制造高精细显示器 实现的关键在于,“利用柔性基板可使用的低温工艺,制作了除中小型外,还可用于大型有机EL驱动的高性能氧化物TFT”(。最高工艺温度比较高,约为300℃。估计该公司重视通过退火确保InGaZnO TFT的品质。研究小组还开发出了分辨率高达326ppi的3.4英寸可弯曲有机EL显示器,并在2013年5月的学会(SID 2013)的会场进行了视频影像显示。试制品的制造品质非常高,画面几乎看不到缺陷。该研究小组为实现高精细和高品质,选择了在玻璃基板上形成氧化物TFT的方法。通过消除工艺温度的制约,能利用精细的半导体膜形成高性能氧化物TFT。然后,通过从玻璃基板上转贴到塑料基板上,实现了柔性。